sem掃描電鏡的原理是依據電子與物質的相互作用，掃描電鏡從原理上講就是利用聚焦得非常細的高能電子束在試樣上掃描，激發(fā)出各種物理信息。通過對這些信息的接收、放大和顯示成像，獲得測試試樣表面形貌的觀察。
sem掃描電鏡的結構組成：
l、電子光學系統
電子光學系統由電子槍、電磁透鏡、掃描線圈和樣品室等部件組成。其作用是用來獲得掃描電子束，作為使樣品產生各種物理信號的激發(fā)源。為獲得較高的信號強度和圖像分辨率，掃描電子束應具有較高的亮度和盡可能小的束斑直徑。
2、電子槍
其作用是利用陰極與陽極燈絲間的高壓產生高能量的電子束。掃描電子顯微鏡電子槍與透射電子顯微鏡的電子槍相似，只是加速電壓比透射電子顯微鏡的低。
3、電磁透鏡
掃描電子顯微鏡一般由三個聚光鏡，前兩個聚光鏡是強透鏡，用來縮小電子束光斑尺寸。第三個聚光鏡是弱透鏡，具有較長的焦距，該透鏡下方放置祥品，為避免磁場對二次電子軌跡的干擾，該透鏡采用上下極靴不同且孔徑不對稱的特殊結構，減小了試樣表面的磁場強度。
4、掃描線圈
掃描線圈是掃描電子顯微鏡的一個重要組件，它一般放在最后二透鏡之間，也有的放在末級透鏡的空間內，使電子束進入末級透鏡強磁場區(qū)前就發(fā)生偏轉，為保證方向一致的電子束都能通過末級透鏡的中心射到樣品表面;掃描電子顯微鏡采用雙偏轉掃描線圈。
