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技術(shù)文章
  • 2024

    8-14

    什么是聚焦離子束電鏡,它是如何工作的?

    聚焦離子束電鏡是一種利用高能量的離子束對樣品表面進行掃描、成像和加工的技術(shù),通過在同一設(shè)備中集成電子束和離子束,實現(xiàn)了對樣品的高精度成像和加工。聚焦離子束電鏡的工作原理可以分為以下幾個步驟:1、離子源產(chǎn)生離子:一個液態(tài)金屬在加熱后形成氣體,通過施加高電壓使氣體中的金屬原子電離,形成離子。這些離子隨后被提取并通過一系列透鏡系統(tǒng)進行聚焦。2、離子束的聚焦與掃描:經(jīng)過聚焦的離子束直徑可以達到幾十納米甚至更小,具有高的能量密度。這個細小的離子束被精確控制,可以在樣品表面進行掃描。3、...
  • 2024

    8-11

    如何維護和保養(yǎng)環(huán)境掃描電子顯微鏡?

    環(huán)境掃描電子顯微鏡是一種高級的成像設(shè)備,它能夠在接近自然狀態(tài)的環(huán)境中觀察樣品。為了確保其精確度和延長使用壽命,對其進行適當?shù)木S護和保養(yǎng)是非常重要的。以下是一些關(guān)于如何維護和保養(yǎng)環(huán)境掃描電子顯微鏡的建議:一、清潔鏡體和樣品室:1、定期清理內(nèi)部,包括樣品室、探測器和光學(xué)元件。使用無塵紙或軟布輕輕擦拭,避免刮傷敏感部件。2、確保使用適當?shù)那鍧崉粫Σ考斐蓳p害。二、檢查和更換真空泵油:1、定期檢查真空泵的油位,確保油位在適當?shù)姆秶鷥?nèi)。2、按照制造商的推薦時間表更換泵油,保持泵的...
  • 2024

    8-9

    掃描電鏡下的陶瓷材料微觀結(jié)構(gòu)

    陶瓷材料是人類生活和生產(chǎn)中不可缺少的一種材料,陶瓷材料是天然或合成化合物經(jīng)過成型和高溫?zé)Y(jié)制成的一類無機非金屬材料,具有高熔點、高硬度、高耐磨性、耐氧化等優(yōu)點,可用作結(jié)構(gòu)材料、功能材料。氮化鋁陶瓷(AlN)隨著新能源行業(yè)的發(fā)展,半導(dǎo)體器件在風(fēng)力發(fā)電、電動汽車等新能源行業(yè)的應(yīng)用中占據(jù)日益重要的地位。半導(dǎo)體器件的功率和頻率更高,集成規(guī)模也越來越大。與傳統(tǒng)的樹脂基片材料相比,氮化鋁(AlN)陶瓷材料具有較大溫度范圍內(nèi)使用無異常、導(dǎo)熱系數(shù)高、硬度大、耐腐蝕等優(yōu)點,是優(yōu)質(zhì)半導(dǎo)體器件的最...
  • 2024

    8-8

    環(huán)境真空掃描電鏡在材料科學(xué)中的應(yīng)用

    環(huán)境真空掃描電鏡是一種能夠在高真空以外的環(huán)境中對樣品進行成像的掃描電鏡。這種電鏡能夠觀察和分析在傳統(tǒng)高真空條件下無法觀察的樣品,如非導(dǎo)電材料、含水樣品等。以下是環(huán)境真空掃描電鏡在材料科學(xué)中的應(yīng)用:1、非導(dǎo)電材料的觀察:傳統(tǒng)的掃描電鏡需要樣品具有導(dǎo)電性,以便于電子束能夠順利掃描樣品表面。然而,許多重要的材料如塑料、陶瓷、聚合物和復(fù)合材料等都是非導(dǎo)電的。它能夠在低真空或甚至濕潤的條件下工作,使得這些非導(dǎo)電材料可以直接觀察,無需經(jīng)過導(dǎo)電涂層的處理。2、含水樣品的分析:在生物、化學(xué)和...
  • 2024

    7-31

    鎢燈絲掃描電鏡的工作流程

    鎢燈絲掃描電鏡可用于納米材料、復(fù)合材料、陶瓷材料、金屬材料、高分子材料、薄膜材料、建筑材料、生物材料、電子材料、導(dǎo)體與非導(dǎo)體地礦、考古等表面微觀形貌觀察及成分分析。鎢燈絲掃描電鏡通過對電子槍內(nèi)的鎢燈絲加高電壓,使電子槍處于熱激發(fā)狀態(tài),在陽極作用下,處于熱激發(fā)的電子槍就可以激發(fā)出電子束。經(jīng)過掃描線圈磁場的控制,電子束在樣品表面逐點掃描,激發(fā)出二次電子、背散射電子等物理信號,經(jīng)探測器收集、放大器放大后,調(diào)制得圖像。鎢燈絲掃描電鏡適合大量的常規(guī)檢測。鎢燈絲掃描電鏡的分辨率通常較高,...
  • 2024

    7-18

    掃描電鏡(SEM)操作指南:如何獲得高質(zhì)量的圖片

    如何評價SEM圖片的質(zhì)量?這是一個頗為復(fù)雜的問題,涉及到主觀因素。SEM圖的解讀需要觀察者根據(jù)自己的經(jīng)驗和知識進行分析和判斷,其中觀察者的主觀偏見或期望可能會影響對圖像的解讀,比如刻意避開不理想的區(qū)域,選擇局部OK區(qū)域來代表自己的預(yù)期。如果忽略主觀因素,那怎么才算一張高質(zhì)量的SEM照片呢?從視覺感受出發(fā):1.要具備高分辨能力,能夠清晰地顯示樣品的細節(jié)和顯微結(jié)構(gòu),邊界銳利,不模糊。2.襯度適中,突出樣品的特征,使不同部分易于區(qū)分。3.低噪聲,具有足夠的信噪比,實現(xiàn)圖像細節(jié)的高清...
  • 2024

    7-13

    透射掃描電子顯微鏡的主要應(yīng)用領(lǐng)域有哪些?

    透射掃描電子顯微鏡是一種利用電子束在樣品上掃描,通過接收透射電子信號或二次電子信號來成像的電子顯微鏡。其主要應(yīng)用領(lǐng)域包括:1、材料科學(xué):透射掃描電子顯微鏡在材料科學(xué)中的應(yīng)用非常廣泛,包括納米材料的形貌和結(jié)構(gòu)分析,如納米顆粒、納米線、納米膜等;材料的微觀結(jié)構(gòu)研究,如晶體缺陷、相變、晶界等;以及材料的性能研究,如力學(xué)性能、電學(xué)性能、磁性能等。2、生物學(xué):在生物學(xué)中的應(yīng)用主要包括細胞和組織的超微結(jié)構(gòu)研究,如細胞膜、細胞器、病毒等;生物大分子的結(jié)構(gòu)研究,如蛋白質(zhì)、核酸、多糖等;以及生...
  • 2024

    7-11

    如何獲取導(dǎo)電不良樣品的高質(zhì)量SEM圖

    掃描電鏡的使用者都不愿意遇到的一大類試樣就是導(dǎo)電不良的樣品,比如聚合物薄膜、玻璃、陶瓷等,由于這些試樣電導(dǎo)率都較低,尤其是玻璃,甚至低于10-10S/m,由此帶來的荷電效應(yīng)問題,使得我們想要得到一張高質(zhì)量的SEM圖難度較大,今天我們就來聊一聊如何解決此類問題。首先,進入大部分用戶腦海的肯定是“鍍金”一詞,即采用離子濺射儀在試樣表面鍍上一層薄薄的金屬膜,改善導(dǎo)電性,但其中的問題是Pt/Au顆粒尺寸一般是納米級,如Pt顆粒尺寸一般是2~3nm,但是由于真空度的影響,在較低的真空下...
  • 2024

    7-10

    場發(fā)射電鏡在半導(dǎo)體工業(yè)中的應(yīng)用有哪些?

    場發(fā)射電鏡是一種利用場發(fā)射電子槍產(chǎn)生高亮度、細聚焦的電子束來掃描樣品表面,并通過檢測從樣品表面散射出來的電子信號來獲取高分辨率圖像的顯微鏡。在半導(dǎo)體工業(yè)中,場發(fā)射電鏡的應(yīng)用非常廣泛,主要包括以下幾個方面:1、缺陷分析:它可以用于觀察半導(dǎo)體材料和器件中的微觀缺陷,如晶格缺陷、位錯、層錯等。這些缺陷可能會影響半導(dǎo)體器件的性能和可靠性,因此對其進行精確分析至關(guān)重要。2、納米結(jié)構(gòu)表征:隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,納米尺度的結(jié)構(gòu)越來越多地被應(yīng)用于器件制造中。也能夠提供納米級別的高分辨率圖像,...
  • 2024

    7-7

    FIB雙束電鏡的真空系統(tǒng)是如何工作的?

    FIB雙束電鏡是利用電磁透鏡將離子束聚焦成非常小的點,然后用這個點在樣品上進行掃描,通過檢測二次電子或背散射電子信號來獲取樣品表面信息的設(shè)備。常用于材料科學(xué)、半導(dǎo)體工業(yè)、生命科學(xué)等領(lǐng)域中的微觀分析、刻蝕和沉積等操作。FIB雙束電鏡的真空系統(tǒng)對于其正常運作至關(guān)重要,因為高真空環(huán)境可以保證離子束和電子束不會與氣體分子發(fā)生相互作用,從而避免束流散射和能量損失,確保成像和加工的精確性。下面是FIB雙束電鏡真空系統(tǒng)的一般工作原理:1、初級泵抽:啟動時,首先會使用機械泵或旋片泵進行初級抽...
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